Cathode sputtering (Plating process)

Pulsed and pulsed bias sputtering: principles and applications

by Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu.

Handbook of sputter deposition technology: principles, technology, and applications

by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa.

Thin Film Materials Technology: Sputtering of Compound Materials

Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi, Kiyotaka Wasa

Obrabotka gazovykh podshipnikov s primeneniem ionnogo raspylenii͡a︡

A.I. Grigorov, A.P. Semenov.

Comptes rendus des travaux du CIP G87

6e Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique, 4e Symposium international sur la gravure sèche et le dépôt plasma et microélectronique, 1er-5 juin 1987, Palais des congrès, Antibes, France ; organisés par le Comité "Couches minces, matériaux et technologies pour l'électronique" de la Société française du vide.

Reactive Sputter Deposition

edited by Diederik Depla, Stijn Mahieu

IPAT 77: Proceedings [of a] conference [on] ion plating & allied techniques, Edinburgh, June, 1977

IPAT 77 (1977 Edinburgh, Scotland)

Vacuum technology, thin films, and sputtering: an introduction

R.V. Stuart.

Sputtering targets and sputtered films: technology and markets

Mindy N. Rittner, project analyst

Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices

Jaydeep Sarkar